碳化硅用什么清洗 - 农村养殖畜牧网

碳化硅用什么可以溶解(使用稀释的HCN水溶液的碳化硅清洗方法)

摘要金属污染物，如碳化硅表面的铜，不能通过使用传统的RCA清洗方法完全去除。RCA清洗后，在碳化硅表面没有形成化学氧化物，这种化学稳定性归因于RCA方法对金属污...